韓國(guó)半導(dǎo)體大廠相繼開啟氖氣回收計(jì)劃 回收率超70%

據(jù)韓國(guó)業(yè)界消息，韓國(guó)半導(dǎo)體巨頭三星電子、SK海力士正利用氖氣回收技術(shù)，以實(shí)現(xiàn)可持續(xù)發(fā)展，并降低成本、減輕供應(yīng)風(fēng)險(xiǎn)。SK海力士近日宣布與韓國(guó)氣體供應(yīng)商TEMC合作，在氖氣回收方面取得突破。三星電子也緊隨其后，計(jì)劃在2025年將氖氣回收技術(shù)整合到其制造工藝當(dāng)中。氖氣用于半導(dǎo)體光刻中激發(fā)激光，通過(guò)利用裝置收集廢氣，SK海力士與TEMC實(shí)現(xiàn)了72.7%的氖氣回收率，并計(jì)劃將效率進(jìn)一步提升至77%。